Le LIGA, de l’allemand Lithographische Galvano Abformung (Structuration galvanique par lithographie), est un procédé utilisé pour la fabrication de microstructures 3D en nickel.

Le principe : Une couche polymère photosensible va être déposée sur un substrat par centrifugation. Cette résine sera utilisée pour la réalisation d’un moule dans lequel le nickel va être déposé.

Cette technologie permet d’atteindre une précision de l’ordre du micron tant dans les formes que dans l’épaisseur. Le rapport de forme est très intéressant car il est possible par exemple : d’obtenir une structure de 100 um pour une épaisseur de 300 um.

Son utilisation peut être très vaste, telle que pour la fabrication de pièces d’horlogerie, micro-mécanique, micro-électronique et bien d’autres domaines.